圖7-10（a）為精密機(jī)械零件加工廠的一滾動(dòng)導(dǎo)軌的微調(diào)機(jī)構(gòu)，彈簧片3在B端固定[原理見圖7-10（b）]，A端懸臂，其長為L。當(dāng)A端受力撓度為し時(shí)，在C處（Kl處）根據(jù)彈性懸臂梁變形公式其撓度為Yc。因?yàn)镵＜1，如果取K為1/10、則很容易得1/100左右的減縮比。利用彈性變形、無外摩擦力和間隙等因素影響，精密機(jī)械零件加工可方便地得到極小微量位移，直到納米級。微調(diào)時(shí)松開開口螺母7的松緊手柄6，將微動(dòng)桿與拖板連成一體，便可轉(zhuǎn)動(dòng)微分筒5使板簧變形，則拖板按C點(diǎn)撓度量微動(dòng)。

　　另外，深圳CNC加工廠家指出，柔性鉸鏈機(jī)構(gòu)是一種結(jié)構(gòu)緊湊、體積小、無機(jī)械摩擦、無間隙、無需潤滑、運(yùn)動(dòng)靈敏度高、具有較高的分辨力的傳動(dòng)導(dǎo)向機(jī)構(gòu)。近年來，柔性銨鏈逐漸應(yīng)用在微位移機(jī)構(gòu)中，以柔性鉸鏈為導(dǎo)向機(jī)構(gòu)的超高精度微位移工作臺，廣泛應(yīng)用于能束加工、超精密加工和檢測、微操作系統(tǒng)等具有納米級定位分辨力的設(shè)備中。

　　圖7-10（c）為精密機(jī)械零件加工廠的一種柔性鉸鏈機(jī)構(gòu)。該機(jī)構(gòu)通過整體線切割的方法，在一塊彈簧鋼板上切割而成，采用左右對稱式結(jié)構(gòu)，使位移平行性較好。柔性鉸鏈的驅(qū)動(dòng)塊由壓電陶瓷微位移器驅(qū)動(dòng)。合理設(shè)置柔性鉸鏈的杠桿比，并結(jié)合壓電陶瓷微位移器，也很容易得到納米級的位移。